一种直拉单晶用热屏装置及单晶硅生产设备.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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一种直拉单晶用热屏装置及单晶硅生产设备.pdf

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本发明涉及一种直拉单晶用热屏装置及单晶硅生产设备，其中，直拉单晶用热屏装置包括：内层隔热筒；外层隔热筒，所述外层隔热筒围绕设置在所述内层隔热筒外侧；热反射片，所述热反射片固定连接在所述外层隔热筒内侧周壁上；隔热垫，所述隔热垫固定安装在所述内层隔热筒和所述热反射片之间；其中单晶硅生产设备包括:炉体；坩埚，所述坩埚安装在所述炉体内底壁上，所述坩埚底部安装有旋转装置；热屏装置，所述热屏装置用于单晶硅生产过程中的热屏蔽；充气装置，所述充气装置用于往炉体内充入气体；直拉装置，所述直拉装置用于单晶硅的直拉生

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113151892 B (45)授权公告日 2022.02.18 (21)申请号 202110456606.6 C30B 29/06 (2006.01)