镀膜掩体及镀膜装置.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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镀膜掩体及镀膜装置.pdf

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一种镀膜掩体，用于承载并遮蔽部分待镀元件；所述镀膜掩体包括至少一承载单元，每个所述承载单元包括一第一承载部、一第二承载部及至少两个肋板，所述第一承载部与所述第二承载部之间形成有一环形槽，所述肋板位于所述环形槽内；所述肋板包括第一肋板部及一与所述第一肋板部连接的第二肋板部，所述第一肋板部连接在所述第二承载部上，所述第二肋板部连接在所述第一承载部上，定义所述第一肋板部及所述第二肋板部之间的夹角为钝角。本发明还涉及一种镀膜装置。本发明提供的镀膜掩体及镀膜装置能够改善镀膜上的肋痕。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113122892 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 202010043608.8 (22)申请日 2020.01.15 (71)申请人三营超精密光电（晋城）有限公司