掩膜版及三重图形化的方法.pdfVIP

下载本文档

16
0
约1.95万字
约 18页
2023-06-14 发布于四川
举报
版权申诉

掩膜版及三重图形化的方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

一种掩膜版及三重图案化的方法，所述掩膜版包括第一、第二和第三掩膜版；第一掩膜版包括第一矩形窗口图形；所述第二掩膜版包括第二矩形窗口图形；所述第三掩膜版包括第三非矩形窗口图形；所述第一矩形窗口、第二矩形窗口和第三矩形窗口图形拼接构成预设的目标非矩形窗口；所述目标非矩形窗口用于定义衬底表面待刻蚀去除鳍部的区域。上述的方案，可以避免光刻过程中L形拐角处的圆角化(cornerrounding)现象影响到鳍部的预定非矩形图案的实际尺寸，故可以提高后续形成器件的性能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113130303 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 20191