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一种超薄软硬结合板的热塑聚酰亚胺减法工艺,步骤:选用硬质金属板作为基板,在硬板区域做开孔;树脂塞孔,研磨;两面压合第一、第二TPI层和铜箔;对步骤3)压合完的铜箔进行减铜,钻孔;做沉铜和整版镀铜;曝光显影;蚀刻去除非线路区域干膜未覆盖的铜,脱膜;背面压合第三TPI层和铜箔;对步骤9)压合完的铜箔进行减铜,钻孔;做沉铜与整版镀铜;曝光显影;蚀刻去除非线路区域干膜未覆盖的铜;脱膜;激光TPI;曝光显影;蚀刻金属板;脱膜;阻焊。本发明工艺简单合理,易加工,制备的软硬结合板具有厚度更薄、强度高、不易变形
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113163622 B (45)授权公告日 2022.05.06 (21)申请号 202010073328.1 H05K 3/00 (2006.01)
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