蒸发源的加热装置和蒸镀设备.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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蒸发源的加热装置和蒸镀设备.pdf

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本申请属于蒸镀技术领域，涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。该蒸发源的加热装置，包括：加热箱体，所述加热箱体具有容纳腔室，用于容纳蒸发源，至少部分所述加热箱体设有热传递部，用于使所述热传递部与蒸发源之间发生热传递；加热件，设置于所述加热箱体，用于产生热辐射；温控机构，设置于所述加热箱体，并与所述加热件电连接，用于监测蒸发源的温度和控制加热件产生的热量。本申请提供的蒸发源的加热装置，结构简单，使用方便，能够实现对于蒸发源温度的准确实时的监控，提高蒸发源的蒸镀质量。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113122804 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 20191