晶圆夹持装置.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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晶圆夹持装置.pdf

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本发明提供了一种晶圆夹持装置，安装于晶圆卡盘，包括：基座，其连接并固定于所述晶圆卡盘的边缘；支撑台，其固定于所述基座，用于通过设置于其上表面的棱线结构接触并支撑晶圆；导向柱，其固定于所述基座，用于将所述晶圆引导并限位于设定位置；夹持件，其活动连接所述基座，用于在所述晶圆被引导并限位于设定位置后，从所述晶圆的侧面夹持并固定所述晶圆。本发明通过引入具有棱线结构的支撑台以线接触的方式对晶圆进行支撑承载，避免了晶圆背面与承载台接触的位置出现积液残留；通过引入排液缺口等结构避免晶圆表面的药液难以排出的情况

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113130369 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 20191