成角度的光栅的旋转K矢量的调制.pdfVIP

下载本文档

14
0
约1.54万字
约 15页
2023-06-14 发布于四川
举报
版权申诉

成角度的光栅的旋转K矢量的调制.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本文中所述的实施方式涉及方法及装置，这些方法及装置用于使用成角度蚀刻系统及/或光学设备来在基板上形成具有带有不同斜角的多个鳍片的光栅及在相继的基板上形成带有不同斜角的鳍片。这些方法包括以下步骤：将固位在工作台上的基板的部分定位在离子束的路径中。这些基板具有设置在这些基板上的光栅材料。该离子束被配置为相对于这些基板的表面法线用离子束角Q接触该光栅材料及在该光栅材料中形成光栅。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113167948 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980081505.6 (74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理