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本发明提供了组合物,该组合物包含一种或多种具有式(I)的含氟化合物表面活性剂:其中Rf为全氟烷基基团,R1、R2和R3中的每一者为C1至C20烷基、烷氧基或芳基;并且R4为亚烷基、亚芳基或它们的组合物。R4优选地为具有1至20个碳的亚烷基,该亚烷基可为环状的或无环的,可任选地包含链中杂原子或末端杂原子,该杂原子选自N、O和S。最优选地,R4为具有2至10个碳原子的亚烷基。本发明描述了阴离子N‑取代的含氟氧化胺表面活性剂及其在清洁和酸蚀刻溶液中的用途。清洁和蚀刻溶液与多种基底一起使用,例如用于含氧
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113166634 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980080746.9 (74)专利代理机构 中原信达知识产权代理有限
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