位移机构及其驱动方法、电子设备.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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本发明实施例提供一种位移机构及其驱动方法、电子设备，位移机构包括：基底，包括相对设置的第一支撑壁与第二支撑壁，且位于第一固定电极部和平台平移部的两侧，第一固定电极部位于平台平移部和第一支撑壁之间；第一固定电极，覆盖于第一固定电极部上，与第一导电线连接，且第一固定电极的上表面覆盖有第一绝缘层；第一活动弹性电极，两端分别固定连接于第一支撑壁和第二支撑壁，包括与平台平移部对应的第一可动平台连接部和与第一固定电极对应的第一活动电极部，第一可动平台连接部连接可动平台，第一活动电极部与覆盖于第一固定电极的第

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113132578 B (45)授权公告日 2022.07.08 (21)申请号 201911420706.2 (56)对比文件