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本发明涉及一种高品质因数的薄膜体声波谐振器的优选结构，包括上表面带有凹槽的衬底、位于衬底上方的底电极层、压电层、其特征在于，还包括带有异形空气桥结构的顶电极层，该异形空气桥结构内设有可起到对横向声波回弹作用并提升薄膜体声波谐振器品质因数的声回弹结构；所述声回弹结构的材质为SiC与钙钛矿组合的薄膜介质或SiN与钙钛矿组合的薄膜介质；声回弹结构为与异形空气桥结构的桥腔相向的多面体并以卧式紧贴在压电层的上方，声回弹结构的上方与异形空气桥结构的桥腔悬空结构之间留有空气间隙，声回弹结构的左侧面和右侧面分别
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113131894 B (45)授权公告日 2022.07.29 (21)申请号 201911393768.9 H03H 9/02 (2006.01)
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