一种基于SPR传感装置的真空全压力测量方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种基于SPR传感装置的真空全压力测量方法.pdf

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本发明公开了一种真空全压力测量方法，涉及真空全压力测量和SPR传感特性技术领域，所述方法以克劳休斯‑莫索缔方程为出发点，结合气态方程得出干空气的真空度P与相对介电常数εr之间的对应关系，并将此关系与SPR传感技术结合起来，得到一种真空全压力测量方法。该方法对真空环境影响小且能够实现非接触测量，对实现基于物质本征物理性质复现真空量值的全压力真空测量技术具有重要意义。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113108984 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 202110386437.3 (22)申请日 2021.04.12 (71)申请人哈尔滨理工大学地址