作用线圈选择式的蚀刻机结构.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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作用线圈选择式的蚀刻机结构.pdf

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本发明提供一种作用线圈选择式的蚀刻机结构，其包括：第一等离子反应腔体，其具有第一反应腔室；多个第一C型线圈，排列于第一反应腔室的外围，并具有第一输入端部及第一控制端部，且第一控制端部是与接地端接地连接；以及第一电源模块，借由第一开关，选择性的与第一输入端部电性连接。借由本发明的实施，可以动态的完成反应腔室壁体上，各个不同部位沉积物的清理。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113130349 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 20201