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2023-06-14 发布于四川
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描述了一种用于等离子体处理工具的等离子体产生电极阵列(200)。该等离子体处理工具包括处理室和处理室中的基底台(111)，基底台用于在使用中支撑基底(104)，在基底上要沉积和/或蚀刻材料。电极阵列包括多个接地电极(201，211，221，231，241，251，261)和至少一个带电电极(212，222，232，242，252，262)，多个接地电极不与至少一个带电电极电接触，并且电极阵列布置为使得接地电极与带电电极在第一平面中沿第一方向彼此交替，第一平面在使用中大致平行于基底台。接地电极和带

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113169020 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980072545.4 (74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理