具有气密空腔的微机电装置.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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具有气密空腔的微机电装置.pdf

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本发明公开一种具有气密空腔的微机电装置，其中该微机电装置包括一基板、一固定电极、一可动电极及一加热器。基板包含一上表面、一内底面及一内侧面。内侧面环绕且连接内底面。内侧面及内底面定义一凹槽。固定电极设置于内底面。可动电极覆盖凹槽。可动电极、内底面及内侧面定义一气密空腔。加热器位于可动电极上且位于气密空腔上方。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113120851 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 20191