一种晶体制备系统.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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本说明书实施例提供一种晶体制备系统，该系统包括：炉体；保温筒，保温筒位于炉体内；埚组件，其中，埚组件位于保温筒内；埚组件至少包括内层埚和外层埚，其中，内层埚与外层埚之间的间隙小于预设间隙值；间隙内填充填充体；电阻加热组件，其中，电阻加热组件包括加热体，加热体包括多个加热单元，多个加热单元形成均匀温度场；多个加热单元环绕设置于埚组件外周；多个加热单元与埚组件之间的距离满足预设条件；保温层，保温层环绕设置于多个加热单元外侧、保温筒顶部和/或埚组件底部。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113106539 B (45)授权公告日 2022.04.05 (21)申请号 202110381291.3 (51)Int.Cl.