线圈电流分配式的蚀刻机结构.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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线圈电流分配式的蚀刻机结构.pdf

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本发明公开了一种线圈电流分配式的蚀刻机结构，其包括：第一电浆反应腔体，其具有第一反应腔室；多个第一C型线圈，其是上、下排列于第一反应腔室的外围，又每一第一C型线圈具有第一输入端部及第一接地端部；以及第一电源模块，其借由多个第一可变电容，一对一的电性连接于第一输入端部。借由本发明的实施，可以动态提供不同的清理能量，以适应反应腔室内不同部位不同厚度沉积物的清理。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113130287 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 20201