一种阳极键合设备.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种阳极键合设备.pdf

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本发明公开了一种阳极键合设备，属于阳极键合技术领域，包括底座、支架和侧板，所述底座的上下两侧面分别固定连接有侧板和支架，侧板的正面设置有键合机构，所述键合机构的前后两侧分别设置有夹持机构和清尘机构，夹持机构和清尘机构的下表面均固定连接有安装板。本发明中，通过设置夹持机构，其中贯穿孔内能够分别放入硅片和玻璃片，电磁铁板通电时能够对磁性的支撑板产生排斥效果，从而使得两个支撑板相远离配合第一固定块的内壁有效定位住硅片和玻璃片，同时第一连接板通过连接杆带动第一连接板移动，弧形板对硅片或玻璃片产生挤压效果

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113113336 B (45)授权公告日 2022.06.14 (21)申请号 202110429052.0 审查员刘希燕 (22)申请日 2021.04.21