一种利用激光等离子体溅射在玻璃上制备金属电路的方法.pdfVIP

下载本文档

1
0
约7.48千字
约 8页
2023-06-13 发布于四川
举报
版权申诉

一种利用激光等离子体溅射在玻璃上制备金属电路的方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供一种利用激光等离子体溅射在玻璃上制备金属电路的方法，包括：步骤1：将透明玻璃片覆在金属靶材的表面，利用激光进行区域性面积扫描，在透明玻璃片与金属靶材的接触面上溅射一层金属附着层；步骤2：把步骤1得到的透明玻璃片有金属附着层的一面正对激光束入射方向，采用激光束对透明玻璃片有金属附着层的一面进行图案化扫描处理，以得到设计的金属电路部分；步骤3：把步骤2得到的透明玻璃片置于氢气环境中并进行加热处理，得到带有电路图案的透明玻璃片；步骤4：把步骤3得到的带有电路图案的透明玻璃片放在乙醇中清洗，并

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113099620 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110331809.2 (22)申请日 2021.03.29 (71)申请人华南理工大学地址