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本发明公开了一种CMOS图像传感器、干涉型滤光片及其制备方法,其中,该干涉型滤光包括:第一材料层,波长调节层,第二材料层;干涉型滤光片底层设置有第一材料层;该第一材料层上方设置有波长调节层,该波长调节层用于抑制由于光的入射角不同产生的波长蓝移;该波长调节层上方设置有第二材料层。解决了现有技术中在CMOS图像传感器的边缘部分,透过波长发生明显的蓝移的问题,进而提高了多波段成像质量。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113093322 B (45)授权公告日 2023.03.28 (21)申请号 202110343446.4 (56)对比文件 (22)申请日 2021.03.30
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