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本发明属于半导体技术领域。本发明公开了一种基于可调谐振腔的量子点单光子源,包括可调谐振腔、用于产生单光子源的量子点层、谐振腔调整装置、用于生长所述可调谐振腔与所述量子点层的衬底及位于所述衬底和可调谐振腔值之间的缓冲层。本发明利用可调谐振腔来提高量子点单光子源的提取效率,量子点单光子源的产生和可调谐振腔是分离的状态,这样一个高品质的可调谐振腔就可以不断的进行谐振频率位置和周期的调节,以达到微腔结构对量子点进行更好的耦合从而提高单光子源的提取效率。与现有技术相比,本发明中单光子源发射和收集效率更高,
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113013727 B (45)授权公告日 2022.08.23 (21)申请号 202110224535.7 H01S 5/343 (2006.01) (22)申请日 2021.03
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