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本发明提供了一种太阳能电池及其制作方法，通过在衬底上设置牺牲层，进而通过湿法刻蚀工艺将牺牲层去除，达到剥离衬底的目的。同时，本发明提供的牺牲层位于第一应变层和第二应变层之间，通过应变层为牺牲层提供应力，在湿法刻蚀工艺过程中应力逐渐释放而提供一定的拉扯力，有利于腐蚀溶液对牺牲层的腐蚀效率，同时应力能够导致应力层与牺牲层之间形变弯曲而达到拓宽腐蚀通道的目的，进一步加快应力层与牺牲层之间腐蚀溶液的置换，加快对牺牲层的腐蚀速率，进而提高了衬底的剥离效率，避免出现过长时间无法剥离衬底而导致剥离失败的情况。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112864278 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110082095.6 (22)申请日 2021.01.21 (71)申请人 扬州乾照光电有限公司
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