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本发明涉及一种衬底处理装置及衬底搬送方法。第1处理区块具备配置在上下方向上的显影处理层及传递层。因此，传递层能够连结于传载区块。另外，传载区块的衬底搬送机构将衬底从衬底缓冲器的位于特定高度位置的缓冲部朝衬底缓冲器的位于其它高度位置的缓冲部搬送。因此，传递层只要进出于与传递层的高度对应的缓冲部即可。因此，能够使传递层精简化。另外，由于传递层配置在显影处理层的上下方向，所以能够减小占据面积。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112864048 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202011254921.2 (22)申请日 2020.11.11 (30)优先权数据 2019-2144
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