一种晶圆切片加工除尘设备.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种晶圆切片加工除尘设备.pdf

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本发明公开了一种晶圆切片加工除尘设备，其结构包括电机、传动箱、外罩、冲洗头、切片底座、挡板，电机下端与传动箱后端上侧嵌固连接，传动箱右侧与外罩左侧嵌固连接，外罩后端与冲洗头上端活动卡合，旁护板在旋转时通过惯性将固定框内部的重力球向外侧甩出，随后连接杆推动连接轴将主杆绕转轴旋转通过倾斜板将冲洗头喷出的去离子水进行缓冲，降低了去离子水对晶圆表面芯片的冲击力，去离子水撞击到卡合头外侧的减速块被减速，随后通过弹片进行吸收能量，同时通过泄力孔分散了部分去离子水的流动，降低了去离子水对晶圆表面的撞击，分散了

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112517501 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 202011354137.9 (22)申请日 2020.11.27 (71)申请人张兆年地址 157