一种缸槽晶片检测系统.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种缸槽晶片检测系统.pdf

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本发明涉及一种缸槽晶片检测系统，该缸槽晶片检测系统包括声纳装置，控制器以及缸槽，声纳装置设置在缸槽的缸壁上，且该声纳装置与控制器相互联接。在晶片移动装置将缸槽中的晶片取出后，声纳装置检测缸槽中是否存在晶片破片残留。若在晶片移动装置将缸槽中的晶片取出后，声纳装置检测到缸槽中存在晶片破片残留，则锁定晶片移动装置，使晶片移动装置停止将后续的晶片继续放入缸槽中。本发明提出的缸槽晶片检测系统可以检测缸槽中的晶片破片残留，并实现在缸槽中存在晶片破片的情况下自动使晶片移动装置停机，以防止晶片破片与后续放入的晶

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112540372 A (43)申请公布日 2021.03.23 (21)申请号 20191