声波器件的制作方法及声波器件.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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声波器件的制作方法及声波器件.pdf

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本公开实施例公开了一种声波器件的制作方法及声波器件，方法包括：提供第一衬底；第一衬底表面的器件区用于承载谐振单元；提供第二衬底；第二衬底包括层叠设置的支撑层和保护层；在支撑层中对应于器件区位置形成贯穿支撑层的第一通孔；第一通孔的开口尺寸大于器件区的尺寸；键合第一衬底和第二衬底；第一通孔用于容纳谐振单元；所述方法还包括以下之一：在键合第一衬底和第二衬底前，在第一衬底上形成谐振单元的反射结构，对谐振单元进行调频处理；在键合第一衬底和第二衬底前，在第一衬底上形成反射结构；在键合第一衬底和第二衬底后，对

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112532200 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 202011253740.8 (22)申请日 2020.11.11 (71)申请人武汉衍熙微器件有限公司