在电子装置制造系统中进行间隙校准的系统和方法.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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在电子装置制造系统中进行间隙校准的系统和方法.pdf

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一种电子装置制造系统包括运动控制系统，所述运动控制系统通过将这些部件表面移动成彼此直接接触来校准处理腔室或装载锁定机构部件的表面之间的间隙。部件表面可包括基板和/或基板支撑件的表面和处理传送设备的表面，所述处理传送设备可为例如：图案掩模和/或等离子体或气体分配组件。运动控制系统可包括运动控制器、可由运动控制器执行的软件程序、网络、一个或更多个致动器驱动器、可由一个或更多个致动器驱动器执行的软件程序、一个或更多个致动器、以及一个或更多个反馈装置。还提供了通过处理腔室或装载锁定机构部件表面的直接接触

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112542404 B (45)授权公告日 2022.03.22 (21)申请号 202011316823.7 (51)Int.Cl.