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本发明涉及用于加工工件的加工工具,包括:支撑表面,其允许在使用中放置至少一个工件且形成有多个开口;第一腔室,其可与用于产生低压的装置连接;第二腔室,其不与第一腔室相连但可与用于产生低压的装置连接;多个锁定装置,每个与第一腔室、第二腔室和支撑表面的相应开口连接;每个锁定装置包括可移动元件,其至少可选择地移动到第一位置和第二位置,在第一位置中,该相应开口与第一腔室流体连通但不与第二腔室连通,在第二位置中,相应开口与第二腔室流体连通但不与第一腔室连通,使得当对应于确定量的开口将工件放在支撑表面上时,工
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112536740 B (45)授权公告日 2022.08.05 (21)申请号 202010987067.4 B23Q 3/08 (2006.01) (22)申请日 2020.09.
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