用于红外光电的铅盐薄膜结构及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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用于红外光电的铅盐薄膜结构及其制备方法.pdf

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本发明属于光电子器件领域，具体涉及一种用于红外光电的复合结构铅盐薄膜及其制备方法。基底、物理气相沉积法制备的铅盐晶粒层、化学法制备的小晶粒铅盐；所述铅盐晶粒层覆在所述基底上，铅盐晶粒之间存在缝隙；所述小晶粒铅盐嵌入所述缝隙之中；所述铅盐薄膜为硫化铅或硒化铅；所述基底为石英衬底或蓝宝石衬底或含氧化层硅片；所述制备方法是通过物理气相沉积法及化学法相结合而制成。本发明提供的复合结构铅盐薄膜结构更加致密，均匀性高；退火处理后的复合结构铅盐薄膜作为光电探测器噪声小，比探测率高，制备方法耗时短，工艺简单。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112531065 B (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202011528130.4 H01L 31/032 (2006.01)