控制设备和方法、光刻装置、制造物品的方法和存储介质.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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控制设备和方法、光刻装置、制造物品的方法和存储介质.pdf

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本发明提供控制设备和方法、光刻装置、制造物品的方法和存储介质。控制设备用于通过向控制对象赋予前馈操作量来进行对控制对象的位置控制，从而即使在通过赋予前馈操作量来进行位置控制的情况下继续控制的目标时间超过上限，也能够抑制控制偏差，控制设备包括：被构造为用作确定单元和校正单元的至少一个处理器或电路，确定单元被构造为，确定用于继续使用前馈操作量的控制的目标时间是否超过预定时间，并且校正单元被构造为，在确定单元确定目标时间超过了预定时间的情况下，将前馈操作量校正为向目标时间的末端衰减。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112526828 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 202010984147.4 (22)申请日 2020.09.18 (30)优先权数据 2019-1701