显示面板和薄膜晶体管的制造方法及其制造设备.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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显示面板和薄膜晶体管的制造方法及其制造设备.pdf

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本发明公开一种显示面板和薄膜晶体管的制造方法及其制造设备。薄膜晶体管的制造方法包括：在衬底上形成未结晶的有源层；在所述有源层上方形成遮光层；在所述遮光层上方用激光对所述有源层进行结晶化处理；所述遮光层宽度小于对应的所述有源层的宽度。本发明在有源层结晶前先在辅助层上方设置遮光层，然后再用激光诱导结使有源层的存在未结晶的区域，该区域可以有效抑制器件的漏电流，因此能增加器件的开关比，从而提高器件的稳定性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112542386 B (45)授权公告日 2022.07.08 (21)申请号 202011209926.3 H01L 27/32 (2006.01)