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本发明提供了一种水平振动在线监测装置,包括绝缘层、石墨烯层、电负性材料部、源极、漏极、固定部、电正性材料部,石墨烯层置于绝缘层上,电负性材料部置于石墨烯层的一端上,石墨烯层延伸出绝缘层,并且包覆电负性材料部的侧面和顶面,源极设置在电负性材料部顶部的石墨烯层上,漏极设置在绝缘层上的石墨烯层上,固定部固定在石墨烯层上,固定部与电负性材料部接触,电正性材料部固定在固定部上,电正性材料部的侧面与电负性材料部的侧面接触。本发明具有水平振动在线监测灵敏度高的优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112539824 A (43)申请公布日 2021.03.23 (21)申请号 202011423486.1 (22)申请日 2020.12.08 (71)申请人 西安柯莱特信息科技有限公司
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