一种晶圆承载装置.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种晶圆承载装置.pdf

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本发明公开了一种晶圆承载装置，包括晶圆承载台、用于支撑晶圆承载台的承载支柱、设置在承载支柱内的缓冲装置和预清洗装置，还包括可旋转、可竖直移动以及可水平移动的真空晶圆夹盘，真空晶圆夹盘四周还设置多个有限位夹具和驱动限位夹具相对于真空晶圆夹盘移动的驱动装置，还包括设置在真空晶圆夹盘上的位置传感器，利用可移动的限位夹具矫正晶圆相对于晶圆承载装置的位置，从而在检测系统不报警的情况下，依然能够保证晶圆位置准确，避免在后续的工艺过程中晶圆相对目标位置错位的情况发生，设置预清洗装置，在晶圆卸载至晶圆承载台之前

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112542420 A (43)申请公布日 2021.03.23 (21)申请号 202011278350.6 (22)申请日 2020.11.16 (71)申请人天霖（张家港）电子科技有限公司