一种平台升降机构.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种平台升降机构.pdf

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本发明公开了一种平台升降机构，包括底座、安装于底座的平台以及两驱动组件，两驱动组件分别安装于底座的相对两端，每一驱动组件包括驱动件、凸轮以及滑动块，驱动件固定于底座，凸轮固定安装于驱动件的输出轴，滑动块滑动安装于底座，滑动块设有斜面，斜面与平台抵触，驱动件带动凸轮转动，凸轮偏心运动抵触滑动块相对底座横向移动，滑动块的斜面抵触平台使平台相对底座在竖直方向上移动，通过上述设计，平台升降机构在保持移动精度高的前提下，尺寸小、结构简单、成本低。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112537733 A (43)申请公布日 2021.03.23 (21)申请号 202011377360.5 (22)申请日 2020.11.30 (71)申请人长园半导体设备（珠海）有限公司