运动机构及具有其的离子注入机.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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本公开涉及半导体储存器技术领域，提出了一种运动机构及具有其的离子注入机，运动机构包括操纵器、连杆以及防护件，连杆设置在反应腔的内部，操纵器位于反应腔的外部，操纵器与连杆驱动连接，以驱动连杆相对于反应腔活动；防护件用于设置在反应腔的内部，防护件具有防护腔，连杆穿设在防护腔内，且与防护件相连接，以带动防护件活动。本公开的运动机构通过操纵器驱动连杆在反应腔的内部活动，而防护件的设置可以避免反应腔内部的反应物附着于连杆上，其应用于真空与大气之间，可以使得反应腔更易维持高真空。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112530771 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 20191