一种基板洗边方法、洗边装置及基板.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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一种基板洗边方法、洗边装置及基板.pdf

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本申请实施例提供一种基板洗边方法、洗边装置及基板，本申请实施例的基板洗边方法首先在基板的相应膜层边缘设置对应标识，检测洗边机洗边过程中的标识位置，根据所述标识位置和标识之间的距离，确定所述基板的洗边量。本申请根据标识位置和标识之间的距离，确定基板的洗边量。从而避免人工确定洗边量，这样能够更加精准的确定基板的洗边量，使得清洗基板时能够更加精确，提升清洗效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112505957 A (43)申请公布日 2021.03.16 (21)申请号 202011453163.7 (22)申请日 2020.12.11 (71)申请人深圳市华星光电半导体显示技术有