镀膜膜厚在线监测方法和镀膜机.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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镀膜膜厚在线监测方法和镀膜机.pdf

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本发明公开了一种镀膜膜厚在线监测方法和镀膜机，包括光信号透过薄膜进入信号接收器；所述信号接收器采集到前一周期结束时的光透射率和当前周期结束时的光透射率；根据所述当前周期结束时的光透射率相对于所述前一周期结束时的光透射率的变化计算出当前周期的薄膜厚度。本发明的镀膜膜厚在线监测方法和镀膜机，当前周期的薄膜厚度根据当前周期结束时的光透射率相对于前一周期结束时的光透射率的变化计算确定，该监测方法确定当前周期的薄膜厚度是以前一周期为参考点，膜厚监测过程中通过改变参考点来抵消误差，从而减小膜厚测量的累积公差

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112504143 A (43)申请公布日 2021.03.16 (21)申请号 202011361770.0 (22)申请日 2020.11.27 (71)申请人江苏永鼎光电子技术有限公司