过滤光刻模型中特定图形无效量测数据的方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约9.98千字
约 8页
2023-05-31 发布于四川
举报
版权申诉

过滤光刻模型中特定图形无效量测数据的方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及过滤光刻模型中特定图形无效量测数据的方法，根据特定图形的结构特征，对第一量测数据表格里特定图形的数据按方向进行分类标记，得到两个方向的数据；将两个方向的数据提取到两个文件里，没有标记的数据取到第三文件里；提取第一文件夹里的数据并找到与第二文件夹中与其匹配的数据，对匹配的数据关键字“PAIR_n”进行标记，若找不到匹配数据，则不进行标记操作；检查匹配的数据是否有标记有无效标记，若两个都没有标记或者两个都标记了则不进行操作，若只有其中一个数据被标记，则对另一个数据进行标记，则得到新的数据表

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112506001 A (43)申请公布日 2021.03.16 (21)申请号 202011480945.X (22)申请日 2020.12.16 (71)申请人上海华力集成电路制造有限公司