一种硅基芯片调节装置、耦合装置及耦合方法.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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一种硅基芯片调节装置、耦合装置及耦合方法.pdf

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本申请公开了一种硅基芯片调节装置，用以对硅基芯片与光器件进行耦合，包括调整机构、夹持机构、过渡PCB板以及吸取机构。调整机构具有可调节的配合台；夹持机构安装在配合台上，形成有固定部和夹持部，夹持部对硅基芯片形成夹紧状态或松开状态；过渡PCB板设置在固定部上，与硅基芯片电连接；吸取机构可调节地设置在配合台上，调整吸取机构位置以靠近硅基芯片，使吸取机构吸取硅基芯片；通过调整机构调整配合台的位置，进而调整硅基芯片的位置，使硅基芯片与光器件进行耦合。同时还提供了一种硅基芯片耦合装置及耦合方法，在硅基芯片

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112505852 B (45)授权公告日 2022.07.15 (21)申请号 202011444859.3 (56)对比文件