晶圆运输盒的节拍式包装方法.pdfVIP

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2023-05-30 发布于四川
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晶圆运输盒的节拍式包装方法.pdf

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本发明公开了一种晶圆运输盒的节拍式包装方法，所采用的装置包括移动模块、上料工位、第一准备工位、第一充氮过渡工位、第一充氮工位、第二充氮过渡工位、第二充氮工位、第二准备工位、套袋工位、封口整形工位、打包校核工位、二次包装过渡工位和下料工位，所述全自动方法，以60秒为一个节拍，每隔4个节拍上料一个FOSB，以节拍为顺序完成整个包装顺序。本发明的晶圆运输盒的节拍式包装方法能够完成充氮一层包装的全自动化流程，整个过程自动化程度高，包装效率高，续进行多个FOSB同时包装。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112455781 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202011435297.6 B65B 43/30 (2006.01)