一种大功率磁控溅射靶PVD炫紫色涂层及其制备方法和应用.pdfVIP

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2023-05-30 发布于四川
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一种大功率磁控溅射靶PVD炫紫色涂层及其制备方法和应用.pdf

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本发明属于PVD溅射技术领域，公开了一种大功率磁控溅射靶PVD炫紫色涂层及其制备方法和应用。本发明的大功率磁控溅射靶PVD炫紫色涂层是由钛硅底层和TiSiN+TiNO+SiNO的复合涂层构成，所述复合涂层是由n个TiSiN+TiNO+SiNO涂层组成，n为大于或等于1的整数，所述大功率是指的80A大功率，该炫紫色涂层是通过大功率磁控溅射靶获得，可以叠加复合，涂层颜色层更厚更致密，耐磨性能良好，颜色稳定，便于大批量生产。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112442670 A (43)申请公布日 2021.03.05 (21)申请号 202011327091.1 (22)申请日 2020.11.24 (71)申请人创隆实业（深圳）有限公司