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本发明涉及半导体材料技术领域,且公开了一种圆形半导体材料快速抛磨设备,包括固定架,所述固定架的上方活动连接有工作台,所述工作台的上方活动连接有转动轮,通过顶杆、推板、推杆、铰接杆、齿板、定位齿轮和传动齿轮的配合,使得四个夹爪能够将圆形的材料固定夹持和放开,推杆继续下降时,还可以通过弧形压紧块将材料压紧在工作台上,方便打磨抛光,通过上下两组推板、推杆的作用,使得抛磨过程和上料过程能同时进行,通过电磁推块、移动杆和卡块的配合,使得棘轮能分别带动顶杆或整个转动轮一起转动,方便了上下两组夹爪的切换,节省
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112428100 A (43)申请公布日 2021.03.02 (21)申请号 202011323296.2 B24B 47/22 (2006.01) (22)申请日 2
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