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本发明提供一种定量相位显微镜(QPM)系统和方法，用于在透射模式和反射模式下的样品成像和计量。该QPM系统包括沿透射模式路径传播的第一照明光束和沿反射模式路径传播的第二照明光束，显微镜物镜以及共路径干涉仪。该共路径干涉仪包括衍射光栅、傅立叶透镜、针孔和2f系统透镜，该2f系统透镜准直参考光束和成像光束使得准直的参考光束和成像光束相互干涉，从而在最终像平面处形成干涉图。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112444501 A (43)申请公布日 2021.03.05 (21)申请号 202010907562.X G02B 21/00 (2006.01) (22)申请日 2
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