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本发明提供了一种在衬底中形成沟槽隔离结构的方法，如下步骤：提供衬底；在衬底上形成阻挡层，所述阻挡层包括交替设置的第一区域及第二区域，第一区域及第二区域沿第一方向延伸，在第一区域设置有多个沿第一方向间隔设置的过孔，过孔暴露出所述衬底；形成覆盖层，覆盖层覆盖阻挡层的表面且填充过孔；图形化覆盖层，在覆盖层上形成开口，开口与阻挡层的第二区域对应；以覆盖层为掩膜，去除第二区域的阻挡层，形成沿第一方向延伸的沟槽，沟槽暴露出所述衬底；去除过孔内的覆盖层，过孔与所述沟槽连通；以第一区域保留的阻挡层为掩膜，去除部
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112447582 B (45)授权公告日 2022.06.10 (21)申请号 201910805926.0 审查员 薛源 (22)申请日 2019.08.29
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