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本发明公开了一种电子级硫酸的生产工艺及生产用低温蒸发纯化吸收装置。该装置包括联用的蒸发纯化装置和吸收装置，利用该装置进行电子级硫酸的生产方法包括常温吸收转化、负压低温蒸发、低温吸收和增温脱气，其中负压低温蒸发利用蒸发纯化装置并使用低温热水加热，使三氧化硫气体在不吐沸的情况下蒸发出来；其中低温吸收利用吸收装置在低温下用超纯水或超纯硫酸吸收三氧化硫气体，并利用吸收液冲击力及对三氧化硫的吸收在蒸发纯化装置内形成负压使液体三氧化硫沸点降低。该生产方法和装置能够在得到高品质电子级硫酸并保证产量和效率的同时
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112441567 B (45)授权公告日 2021.09.10 (21)申请号 202110000679.4 CN 210645161 U,2020.06.02
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