一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台.pdfVIP

一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台.pdf

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本发明涉及一种新型多功能复合可变扫描电镜SEM样品载物台,包括样品台底托、样品升降台;所述样品台底托上设有底托螺纹通孔,样品升降台的外侧设有与底托螺纹通孔相匹配的外螺纹,样品升降台通过外螺纹旋于底托螺纹通孔内,样品台底托与样品升降台螺纹连接;所述样品台底托底部中心位置设有用于与SEM载物台连接的固定支柱,样品台底托上部设有功能支架;通过本发明,对不同形状、不同大小的块状样品均能固定。解决了复数、高度差异明显的小块样品无法同时观察的问题。解决了在综合分析时复数小块样品同时处于SEM的最佳工作距离的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112454291 B (45)授权公告日 2022.08.23 (21)申请号 202011313832.0 B25H 1/12 (2006.01) (22)申请日 2020.11.

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