一种高端制造用半导体基板抛光液补偿装置.pdfVIP

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2023-05-30 发布于四川
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一种高端制造用半导体基板抛光液补偿装置.pdf

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本发明涉及半导体器件制造技术领域，且公开了一种高端制造用半导体基板抛光液补偿装置，包括抛光座，所述抛光座的顶部转动连接有修整盘，所述修整盘的上方设有上支撑座，所述上支撑座的内部固定连接有活动架，所述活动架的内部固定连接有柔性管，所述柔性管的一侧固定连接有弹簧杆，所述柔性管的另一侧固定连接有弹簧片。当抛光液补充完成后，漂浮板在重力的作用下，向上移动，使检测头内的体积减少，使液压油被挤压入外套管的内部，使液压油推动滑动座一内的推杆一向内侧移动，使推杆一带动挡板堵住进液管的顶端，使该装置可以及时根据抛

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112454173 B (45)授权公告日 2021.12.14 (21)申请号 202011204672.6 B24B 37/005 (2012.01)