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一种利用超快激光制备铜基超疏液自清洁表面的方法，铜基超疏液自清洁表面包括以周期分布在铜基表面的微米圆锥，在微米圆锥结构之间分布有次级栅格，在微米圆锥表面分布有密集生长的纳米颗粒，微米圆锥、次级栅格、纳米颗粒构成三维三级微纳结构；方法是先将铜样品表面进行抛光预处理，然后使用超快激光对抛光预处理后的铜抛光样品进行进行加工，规划多光斑成组的加工路径，实现三维三级微纳结构的一步制备以及对微米圆锥间距的调控；最后利用深等离子刻蚀机使用C4F8气体对加工的铜基样品进行低表面能修饰，得到具有三维三级微纳结构的
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112427811 B (45)授权公告日 2021.12.28 (21)申请号 202011315739.3 B23K 26/60 (2014.01)
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