无缝对接循环热交换系统.pdfVIP

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2023-05-30 发布于四川
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无缝对接循环热交换系统.pdf

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本发明专利涉及热交换技术领域，具体涉及半导体处理装置的无缝对接循环热交换系统，旨要解决的技术问题在于克服现有技术中的故障时停止热交换的缺陷，主要是通过以下技术方案得以实现：无缝对接循环热交换系统，包括：单台热交换器，单台热交换器间通过连接管路连接，单台热交换器包括热交换装置、循环水罐和多个管路系统，热交换装置和循环水罐通过管路系统连接；连接管路，连接管路固定在单台热交换器壳体的外侧，连接管路上设置第一手动阀门；配管套件，配管套件罩设在单台热交换器外部，两台同时运行的工况下，当一台出现故障时可单独

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112461030 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202011379832.0 (22)申请日 2020.11.30 (71)申请人吉姆西半导体科技（无锡）有限公司