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2023-05-30 发布于四川
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提供高度计，使高度计与晶片之间不释放静电。将保护部件(S)与晶片(W)粘贴而成为一体的被测量物(U)按照使晶片(W)的上表面(Wa)成为上方的方式保持于卡盘工作台(2)的保持面(20a)上，使上表面高度计(51)所具有的第1探针(510)的触头(510a)与晶片(W)的上表面(Wa)接触而对晶片(W)的上表面(Wa)的高度进行测量。构成为第1探针(510)的表面电阻值为1×104Ω至1×109Ω，由此防止在使第1探针(510)接近晶片(W)的上表面(Wa)时在两者之间引起静电的放电。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112440170 A (43)申请公布日 2021.03.05 (21)申请号 202010868283.7 B24B 27/00 (2006.01)