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本发明的掩模对准方法调整掩模载置台与掩模的相对位置，其特征在于，包括：对所述掩模载置台上的所述掩模的相对的位置偏离量进行计测的计测工序；在使所述掩模从所述掩模载置台分离的状态下，在与所述掩模载置台的载置面平行的面内，使所述掩模相对于所述掩模载置台相对移动与计测到的所述位置偏离量相当的移动指示量的位置调整工序；及将相对移动后的所述掩模载置到所述掩模载置台上的载置工序，所述掩模对准方法基于规定的条件，对所述移动指示量进行补正，并使用补正后的移动指示量进行所述位置调整工序。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112442655 A (43)申请公布日 2021.03.05 (21)申请号 202010788737.X H01L 51/52 (2006.01) (22)申请日 2
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